1Technické charakteristiky

lVysoce zvětšující binární mikroskop a22Palcový LCD displej s širokou obrazovkou sleduje proces zarovnávání a poskytujeUSBvýstup; Vysoce přesné přiřazení, detekce expozice a snadné skladování

lS obráceným osvětlením, výměna rtuťových lamp je pohodlnější, chlazení tepla a lepší odolnost proti úniku světla

lDvojpolohová práce pro nastavení a expozici, automatické přepínání dvou poloh

lPoužití vestavěného počítače+Ovládání dotykové obrazovky, pohodlnější ovládání a stylovější

lNahrávání a snímání je velmi pohodlné, vysoká úroveň automatizace a snadné ovládání. Vyučování a výzkum na vysokých školách (dobrá spolehlivost, pohodlná prezentace) a továrny(Vysoká efektivita)Zvláště vhodné

2Technické parametry

lExpozice:100mm×100mm(lze upgradovat na6palců)

lVlnová délka expozice:365nm

lRozlišení:≤1mm(tloušťka1.5 mmpravé lepidlo)

lPřesnost nastavení:±0.6mm

lRozsah pohybu mikroskopu:X：10mm;Y:10mm

lVelikost masky:2.5palce,3palce,4palce,5Palce

lVelikost vzorku: průměrf15mm--f100mm(různé nepravidelné filmy)

Tloušťka0.1mm--6mm

lZpůsob expozice: časování (zpětné odpočítávání) a stanovené dávkování

lExpozice vakuového kontaktu a tvrdého kontaktuSvětlo4 funkce tlakové expozice a blízké expozice

lNerovnoměrnost osvětlení: 3%（f100mmRozsah)

lDvojitý zorný mikroskop: buď prostřednictvím brýlívizuálníNasměrování, lze také projítCCD+Zarovnání displeje, optické snímky, maximální optický násobník400Násobky, optika+Elektronické zvětšení800násobně

Objekty tři páry:4násobně,10násobně,20násobně

Tři brýle:10násobně,16násobně,20násobně

lNastavení kontaktního tlaku zajišťuje opakování pomocí senzoru

lDigitální nastavení zarovnání mezer a mezer

lS tiskovým modulovým rozhraním a také s blízkým modulovým rozhraním

lMaska ve vztahu ke vzorku pohybu:

X:±5mm; Y:±5mm;q:±6?

lMaximální tloušťka:400mm（SU8lepidlo, uživatel poskytuje testovací podmínky)

lParalelita světelného zdroje:3?

lHustota expozice:>25mW/cm2,Teplota osvětlení<35?C

lJednovrstvá expozice jedním kliknutím

lPoužití plovoucích míček+Tři klapy hledat rovné

lVýkon rtuťových lamp:350W(přímý proud,Importovat）

3Vzhledné rozměry:1400mm(dlouhá)?900mm(Široká)?1500mm(vysoká)

4Konfigurace

（1Expozice hlavy

lElepskop studeného světla

l350WDovoz DC vysokotlakové rtuťové lampy(Osram Německo)

lXYZRegulační stůl rtuťových lamp

lVentilátor chlazení

lOptické systémy: pevné světelné pásy, proměnné světelné pásy, závěrky, přímá zrcadla1Přímá zrcadla2Skupina čoček (79čočky),iLiniové filtry, polní zrcadla, studená zrcadla1zrcadlo, zrcadlo2

（2(Nasměrování pracovního stolu)

lPodložka gravéru

lPřepínační stanice (válce)

lMaska Demonstrace Celkový Sportovní Stol

lMaska vzorek relativní sportovní stůl

lOtáčecí stůl

lStruktura pro vyrovnávání vzorků,3 automatické dokončení

lMechanismus ostření vzorku, automatické nastavení motoru

lZákladní tahovací mechanismus nahoru dolů

lStůl4jeden:f15mm 、f40mm、f60mm、f100mm(může se snížit podle požadavku uživatele)

lMaskový klip4jeden:2.5palce,3palce,4palce,5Palce (může být zvýšeno nebo sníženo podle požadavku uživatele)

lVytáhání vzorků nahoru dolů

（3(Nasměrování mikroskopu)

lzdroje světla, Napájení

lDvojité zorné pole směrování mikroskopu

lBrýle3Ano.10násobně,16násobně,20krát, celkem6jeden)

lObjekty3Ano.4násobně,10násobně,20krát, celkem6jeden)

lCCDsystémy směřování,22Palcový LCD displej

（4Elektronický řídicí systém

lRuťová lampa spustí napájení(350WSměrnostní rtuťové lampy)

lJednočipový řídicí systém

lOvládací panel

lOvládací stůl

（5Pneumatický systém

lVálce, elektromagnetické ventily, tlumicí ventily, pneumatické spínače atd.

lElektromagnetický ventilový pohon

lPneumatické přístroje

（6Ostatní přílohy

lVakuové čerpadlo 1

lVzduchový kompresor 1

lPříslušenství rozhraní potrubí

（7Technické informace

lPoužití návodu k opravě

lCertifikát kontroly výrobků