Technické charakteristiky UV hluboké gravéry typu URE-2000/17:
Nasměrování pomocí binárního mikroskopu; Kulová mísa vyrovnávání, ovládání jednoho stroje, dotykový spínač, snadné ovládání, silná praktičnost.

1Technické parametry

lExpozice:4Palce

lVlnová délka expozice:365nm

lRozlišení:1.5mm(tloušťka2 mmpravé lepidlo)

lPřesnost nastavení:±1mm

lCelkový rozsah pohybu masky:X：15mm;Y:15mm

lVelikost masky:2.5palce,3palce,4palce,5Palce

lVelikost vzorku: průměrf15mm--f100mm

Tloušťka0.1mm--6mm(Rozšířitelné na15mm)

lZpůsob expozice: časování (zpětné odpočítávání) a stanovené dávkování

lNerovnoměrnost osvětlení: 5%（f100mmRozsah)

lDvojitý zorný mikroskop: buď prostřednictvím brýlívizuálníNasměrování, lze také projítCCD+Zarovnání displeje, optické snímky, maximální optický násobník400Násobky, optika+Elektronické zvětšení800násobně

Objekty tři páry:4násobně,10násobně,20násobně

Tři brýle:10násobně,16násobně,20násobně

lMaska ve vztahu ke vzorku pohybu:

X:±5mm; Y:±5mm;q:±6stupeň

lVýkon rtuťových lamp:200W(příměrný proud)

lHustota expozice:6mW/cm

2Vzhledné rozměry:650mm(dlouhá)?600mm(Široká)?900mm(vysoká)

3Konfigurace

（1Expozice hlavy

l200WDovoz DC vysokotlakové rtuťové lampy(Osram Německo)

lXYZRegulační stůl rtuťových lamp

lOptické systémy

lVentilátor chlazení

（2(Nasměrování pracovního stolu)

lMaska Demonstrace Celkový Sportovní Stol

lMaska vzorek relativní sportovní stůl

lOtáčecí stůl

lStruktura pro vyrovnávání vzorků,Ruční

lStruktura ostření vzorku, ruční

lStůl3jeden (f50mm、?75mm、?100mm）

lMaskový klip4jeden (2.5palce,3palce,4palce,5palců)

lMaska tažení mechanismus nahoru dolů

（3(Nasměrování mikroskopu)

lSvětelné zdroje (příslušenství)2pouze) napájení

lDvojité zorné pole směrování mikroskopu

lBrýle3Ano.10násobně,16násobně,20krát, celkem6jeden)

lObjekty3Ano.4násobně,10násobně,20krát, celkem6jeden)

lCCD(Tchaj-wan)

l21Palcový LCD displej

（4Elektronický řídicí systém

lRuťová lampa spustí napájení(200WSměrnostní rtuťové lampy)

lJednočipový řídicí systém

lOvládací skříň

（5Pneumatický systém

lVálce, elektromagnetické ventily, tlumicí ventily, pneumatické spínače atd.

lElektromagnetický ventilový pohon

lPneumatické přístroje

（6Ostatní přílohy

lVakuové čerpadlo 1

lpotrubí

（7Technické informace

lPoužití návodu k opravě

lNávod k použití mikroskopu