• Vysoká přesnost ±1,0% nastavovacího bodu
  Linearita tohoto regulátoru hmotnostního toku je kompenzována polynomiální přibližovací křivkou a dosahuje vysoké přesnosti v rámci řízení toku. Pro zvýšení přesnosti skutečných plynů jsou kalibrační údaje různých procesních plynů měřeny standardním systémem měření plynů společnosti HORIBA STEC.
• Vysokorychlostní reakce
  Systém s variabilním PID umožňuje 1 sekundu odezvy mezi libovolnými dvěma nastavovacími body. Proměnné PID se neustále mění v závislosti na nastavení bodu průtoku. Optimalizace koeficientu PID při změnách průtoku a plynu v plném rozsahu.
• Řešení pro více plynů / více měřítek
  Konfigurační software umožňuje rychle a snadno změnit specifikace. Důležitým rysem je, že změny lze provádět bez nutnosti odstranění regulátoru hmotnostního toku z řídicího panelu plynu nebo potrubí. Snížení počtu potřebných náhradních regulátorů hmotnostního toku šetří čas a náklady.

Řidič hmotnostního toku SEC-Z500X je vhodný pro různé aplikace a výrobu polovodičů.