Kontrolní mikroskopy Olympus Semiconductor/FPD MX63 a MX63L jsou optimalizovány pro kvalitní kontrolu čipů až 300 mm, plochých displejů, desek a dalších velkých vzorků. Jejich modulární konstrukce vám umožňuje vybrat komponenty, které potřebujete přizpůsobit systému vaší aplikaci. Společnost Olympus Semiconductor/FPD Inspection Microscopy v kombinaci s softwarem pro analýzu obrazu Olympus Stream zjednoduší celý pracovní postup od pozorování až po vytváření zpráv.

Nejmodernější analytické nástroje

Multifunkční pozorovací schopnosti řady MX63 poskytují jasný a jasný obraz, takže uživatelé mohou spolehlivě detekovat vady ve vzorku. Nové technologie osvětlení a možnosti sběru obrazu v softwaru pro analýzu obrazu Olympus Stream poskytují uživatelům více možností k posouzení jejich vzorků a zaznamenání jejich zjištění.

Neviditelné se stává viditelným: smíšené pozorování a získávání

Smíšená pozorovací technika vytváří jedinečný pozorovací obraz kombinací temného pole s jiným způsobem pozorování, jako je světlé pole, fluorescence nebo polarizace. Smíšené pozorování umožňuje uživatelům vidět vady, které jsou obtížně vidět s běžným mikroskopem. Kulové LED osvětlení pro pozorování temného zorného pole má funkci směrového temného pole, kde se v daném čase osvětluje pouze jeden kvadrant. To snižuje halo vzorku a pomáhá vizualizovat povrchovou texturu vzorku.

Struktura polovodičových čipů

Pozůstatky lepidla na polovodičových čipůch

Snadné vytváření panoramatických obrázků: Instant MIa

Pomocí více zarovnání obrázků (MIA) mohou uživatelé snadno a rychle spojit obrázky přesunutím knoflíku KY v manuální fázi, zatímco elektrická platforma není nutná. Software Olympus Stream využívá rozpoznávání vzorů k generování panoramatického obrazu, který uživatelům poskytuje širší pohled.

Vytvoření všech obrázků: EFI

Funkce rozšířeného zaostřování (EFI) v Olympus Streamu zachycuje snímky vzorku, které se rozšiřují nad hloubku zaostřování cíle a složí je dohromady k vytvoření plně zaostřovaného obrazu. EFI lze provádět manuálně nebo elektricky s osou Z a vytvářet výškový graf pro snadnou vizualizaci struktury. Obrázky EFI lze také vytvářet offline na streamovací ploše.

Zachyťte světlé a temné oblasti pomocí HDR

Vysoký dynamický rozsah (HDR) s pokročilým zpracováním obrazu upravuje rozdíl v jasu obrazu, aby se snížilo oslnění. HDR zlepšuje vizuální kvalitu digitálního obrazu, což pomáhá vytvářet profesionální zprávy.

Od základního měření až po analýzu

Měření je klíčové pro kontrolu a kontrolu kvality a procesů. S tímto ohledem dokonce i balíček Olympus Stream na úvodní úrovni obsahuje kompletní interaktivní menu funkcí měření, kde jsou všechny výsledky měření uloženy v obrazovém souboru pro další dokumentaci. Řešení Olympus Flow Materials navíc nabízí intuitivní rozhraní orientované na pracovní postupy pro složitou analýzu obrazu. S jedním kliknutím na tlačítko lze úlohy analýzy obrazu provést rychle a přesně. Díky výraznému snížení času na zpracování opakujících se úkolů se může operátor soustředit na kontrolu na ruce.

Vytváření zpráv

Vytvoření zprávy obvykle trvá déle než zachycení obrázků a měření. Software Olympus Stream poskytuje intuitivní vytváření zpráv pro opakované generování inteligentních a složitých zpráv na základě předem definovaných šablon. Úpravy jsou jednoduché a zprávy lze exportovat do softwaru Microsoft Word nebo PowerPoint. Kromě toho funkce zpravodajství softwaru Olympus Stream umožňuje digitální zoom a zoom snímků. Soubor zprávy má přiměřenou velikost a usnadňuje výměnu dat e-mailem.

Možnosti samostatné kamery

S mikroskopovými kamerami DP22 nebo DP27 se řada MX63 stává pokročilým nezávislým systémem. Fotoaparát lze ovládat pomocí kompaktní krabice, která vyžaduje jen menší prostor, což uživatelům pomáhá maximalizovat laboratorní prostor a zároveň zachytit jasný obraz a provádět základní měření.

Podpora Cleanroom Conformity

Řada MX63 je navržena pro práci v čistých místnostech a pomáhá snížit riziko znečištění nebo poškození vzorku. Systém má ergonomický design, který pomáhá uživateli pohodlně i při dlouhodobém použití. Řada MX63 splňuje mezinárodní specifikace a normy včetně Semi S2/S8, CE a UL.

Volitelná integrace nakladače čipů - systém AL120*

Volitelné nakládače čipů lze připojit k řadě MX63 a přesunout křemíkové a sloučené polovodičové čipy z boxové pásky do mikroskopické fáze bez použití pincet nebo tyče. Vynikající výkon a spolehlivost umožňují efektivní frontální a zadní makro kontroly, zatímco nakladače pomáhají zvýšit produktivitu laboratoře.

MX63 v kombinaci s načítačem čipů Al120 (verze 200 mm) * E120 není k dispozici v zemích EMEA.

Rychlá kontrola čištění

Řada MX63 splňuje kontrolu čipů bez prachové komory. Všechny motorové součásti mají štítovou konstrukci a používají antistatickou úpravu na komponenty jako jsou mikroskopové rámy, trubky, dýchací kryty a další. Mobilní nosní křídlo se otáčí rychleji než ruční nosní křídlo, což snižuje čas kontroly a zároveň udržuje ruku operátora pod čipem a snižuje potenciální znečištění.

Navrhování systémů pro efektivní pozorování

Díky kombinaci vestavěné spojky a knoflíku XY je třída XY schopna pohybovat ve dvou fázích současně. Tato fáze přispívá k efektivitě pozorování i pro velké vzorky, jako jsou čipy 300 mm.Široká škála nakloněných pozorovacích trubek umožňuje operátorovi sedět pod mikroskopem v pohodlné poloze.

Akceptujeme všechny velikosti čipů

Systém je kompatibilní s různými typy 150 - 200 mm a 200 - 300 mm diskové držáky a skleněné desky. Pokud se velikost čipu změní na výrobní linkě, může být rám mikroskopu upraven za menší náklady. S řadou MX63 lze použít různé fáze pro umístění kontrolních linek na čipůch 75 mm, 100 mm, 125 mm a 150 mm.

Intuitivní ovládání mikroskopem: pohodlné použití

Nastavení mikroskopu je snadné ovládat a uživatel snadno upravuje a reprodukuje nastavení systému.

Rychlé zaměření: Pomoc se zaměřením

Vložení pomocného zařízení pro zaostřování do optické cesty umožňuje snadné a přesné zaostřování na vzorek s nízkým kontrastem, například nahý kus.

Snadné obnovení nastavení mikroskopu: kódování hardwaru

Funkce kódování kombinuje hardwarové nastavení řady MX63 s softwarem pro analýzu obrazu Olympus Stream. Metody pozorování, intenzita osvětlení a stupeň zvětšení jsou softwarem automaticky zaznamenány a uloženy v příslušných obrázcích. Vzhledem k tomu, že nastavení lze snadno reprodukovat, může každý operátor provést stejnou kontrolu kvality s minimálním školením.

Ergonomické ovládání pro rychlejší a pohodlnější provoz

Ovládací zařízení pro změnu cíle a úpravu světelného složení je umístěno pod mikroskopem, takže uživatel nemusí během použití uvolnit ovladač zaměřování nebo posunout hlavu od brýlí.

Rychlejší pozorování pomocí správce intenzity světla a automatického ovládání otvoru

Pod normálním mikroskopem musí každý pozorovatel upravit intenzitu světla a otevřenost. Řada MX63 umožňuje uživatelům nastavit podmínky intenzity světla a otvoru pro různé násobníky zvětšení a pozorovací metody. Tyto nastavení lze snadno odvolat, což uživatelům pomáhá ušetřit čas a zachovat vynikající kvalitu obrazu.

Správce intenzity světla

Obvyklá intenzita světla	Při změně násobníku zvětšení nebo metody pozorování se obrázek stává příliš jasným nebo tmavým.
Správce intenzity světla	Při změně násobníku zvětšení nebo hodnoty pozorování se automaticky nastaví intenzita světla, aby se vytvořil vynikající obraz.

Automatické ovládání otvoru

Kontrola kvality optického a digitálního zobrazení

Historie vývoje vysoce kvalitní optiky a pokročilých digitálních zobrazovacích schopností společnosti Olympus prokázala záznam kvality optiky a mikroskopu, který poskytuje vynikající přesnost měření.

Vynikající optické vlastnosti: ovládání předvlnného rozdílu

Optické vlastnosti objektivu přímo ovlivňují kvalitu pozorovaného obrazu a výsledky analýzy. Olympus UIS2 je navržen tak, aby minimalizoval předvlnové rozdíly a poskytoval spolehlivý optický výkon.

Dobrý před špatnou vlnou (cíl UIS2)

Konzistentní barevná teplota: vysoce intenzivní bílé LED osvětlení

Řada MX63 využívá zdroje světla LED s vysokou intenzitou bílého světla pro odrážející a transmitní osvětlení. LED udržuje konzistentní barevnou teplotu bez ohledu na intenzitu, aby zajistila spolehlivou kvalitu obrazu a reprodukci barev. LED systémy poskytují vysoce účinné a dlouhoživotné osvětlovací materiály vhodné pro aplikace v oblasti materiálové vědy.

Přesné měření: automatická kalibrace

Podobně jako u digitálního mikroskopu je k dispozici automatická kalibrace při použití softwaru Olympus Stream. Automatická kalibrace pomáhá eliminovat lidskou variabilitu při kalibraci, což vede k spolehlivějšímu měření. Automatická kalibrace používá algoritmus, který automaticky vypočítá správnou kalibraci z průměru více měřicích bodů. To minimalizuje rozdíly zavedené různými operátory a udržuje konzistentní přesnost, což zvyšuje spolehlivost pravidelných ověření.

Plně jasný obraz: korekce stínů obrazu

Software Olympus Stream se vyznačuje korekcí stínů, aby se přizpůsobil stínům v rohu obrazu. Při použití s nastavením prahu intenzity poskytuje korekce stínu přesnější analýzu.

Polovodičový čip (binární obraz)

Plně přizpůsobitelné

Cílem řady MX63 je umožnit zákazníkům vybrat si širokou škálu optických komponentů, které vyhovují individuálním požadavkům inspekcí a aplikací. Systém může využívat všechny pozorovací metody. Uživatelé si mohou také vybrat z různých balíčků pro analýzu obrazu Olympus Stream, které vyhovují potřebám individuálního sběru a analýzy obrazu.

Oba systémy se přizpůsobují různým velikostem vzorku

Systém MX63 může pojmout čipy až 200 mm, zatímco systém MX63L může zpracovat čipy až 300 mm se stejnou malou stopou jako systém MX63. Modulární konstrukce umožňuje přizpůsobit mikroskop vašim konkrétním požadavkům.

Infračervená kompatibilita

Infračervené objektivy mohou být provedeny pomocí infračervených objektivů, což umožňuje operátorovi nepoškozeně detekovat vnitřní část IC čipu zabaleného a nainstalovaného na PCB, využívající vlastnosti křemíku, který přenáší infračervené. 5x až 100x infračervený cíl může být korekován pomocí vlnových délek viditelného světla v blízkém infračerveném světle.

Řada MX63 se používá v oblasti reflexních světelných mikroskopů. Tyto aplikace jsou příkladem některých metod systémů pro průmyslové kontroly.

Infračervená (IR) je další chyba, která se používá k nalezení IC čipů a křemíkových zařízení na sklu.

Polarizované světlo se používá k odhalení struktury hmoty a stavu krystalů. Je vhodný pro kontrolu čipových a LCD konstrukcí.

Diferenční interferenční kontrast (DIC) se používá k tomu, aby pomohl zobrazit rozdíly s malými vzorky. Je ideální pro univerzitní inspekce vzorků s vysokými rozdíly, jako jsou minutové magnetické hlavy, pevný disk média a leštěné čipy.

Temné pole se používá k detekci drobných škrábaní nebo vady na vzorku nebo k detekci vzorku pomocí zrcadla, například čipu. Smíšené osvětlení umožňuje uživatelům zobrazit vzory a barvy.

Fluorescence se používá ve vzorku, který vyzařuje světlo při osvětlení speciálně navrženým filtrem. Používá se k detekci znečištění a zbytků fotogenních rezistencí. Smíšené osvětlení umožňuje pozorovat zbytky fotogenních rezistencí a vzory IC.

Tato pozorovací technika je vhodná pro průhledné vzorky, jako jsou LCD, plasty a sklo. Smíšené osvětlení umožňuje sledovat barvu filtru a vzor obvodu.

Konfigurační parametry řešení kontrolního mikroskopu Olympus Semiconductor/FPD MX63 / MX63L

		MX63	MX63L
Optické systémy		Optický systém UIS2 (nekonečná dálková korekce)
Zobrazit mikro Zrcadla stroje stojan	Reflexní osvětlení	LED světla, 12V100W halogenové světlo, 100W rtuťové světlo Typ osvětlení: světlé, temné Vestavěný elektrický světelný otvor Způsob pozorování: světlé pole, temné pole, diferenciální interference (DIC), jednoduchá polarizace, fluorescence, infračervená
	Přenosné osvětlení	Osvětlení: MX-TILLA nebo MX-TILLB - MX-TILLA::Apendice světelného průměru NA0.5 - MX-TILLB: Apendice světelného otvoru NA0.6 Zdroj světla: LG-PS2 (halogenová lampa 12/V100 W) Způsob pozorování: jasné pole, jednoduchá polarizace
	Zaměření	Rozsah: 32 mm Jemný průběh na otáčku: 100 μm Zui malá měřítka: 1 μm S horním limitem pro nastavení točivého momentu pro hrubou rukojeť
	Maximální zatížení (včetně stojanů)	8 kg	15 kg
pohled Ča Cylindr	Široké zorné pole (FN 22 mm)	Příklad: U-ETR4 Přímá, nakloněná trojice: U-TTR-2 U-TR30-2, U-TR30IR (infračervené pozorování) Obě oči: U-BI30-2 Obrací, nakloněné oči: U-TBI30
	Velmi široký pohled （FN 26.5 mm）	MX-SWETTR spektrální poměr 100%: 0 nebo 0: 100%) U-SWETTR spektrální poměr 100%: 0 nebo 20%: 80%) Přehled: U-SWTR-3
Převodník objektivu		Šestiotvorový elektrický převodník s DIC slotem: U-D6REMC Pětidirný převodník s DIC automatickým centrálním slotem: U-P5REMC Šestiotvorný elektrický převodník s DIC slotem: U-D6BDREMC Pětidirný převodník světla a tmavého pole s DIC slotem: U-D5BDREMC Pětidirný převodník světla a tmavého pole s DIC automatickým centrálním slotem: U-P5BDREMC
Nákladní stanice		Vestavěný pohon spojky s pravou rukojetí: MX-SIC8R Rozsah: 210 x 210 mm Prostřednictví světla: 189 x 189 mm Vestavěný pohon spojky s pravou rukojetí: MX-SIC6R2 Rozsah: 158 x 158 mm (při použití odrážejícího světla)	Vestavěný pohon spojky s pravou rukojetí: MX-SIC1412R2 Rozsah: 356 x 305 mm Prostřednictví světla: 356 x 284 mm
Hmotnost		Přibližně: 35,6 kg (mikroskop stojan 26 kg)	Přibližně: 44 kg (mikroskop stojan 28,5 kg)

Poznámka: Obsah tabulky parametrů představuje hlavní parametry.PodleKonfigurace potřeb.