KrystalTřícílový magnetron rozprašovač

Modelové číslo:VTC-600-3HD

Přehled produktu:

VTC-600-3HD třicílový magnetron postřikovač jezuiNově vyvinuté povlakové zařízení lze použít k přípravě jednovrstvé nebo vícevrstvé ferroelektrické fólie, vodivé fólie, slitinové fólie, polovodičové fólie, keramické fólie, médií, optické fólie, oxidové fólie, tvrdé fólie, polytetrafluoroethylenové fólie atd. Ve srovnání s podobnými zařízeními je nejen široce použit, ale má i výhody malého objemu pro snadnou obsluhu, je ideálním zařízením pro laboratorní přípravu materiálových filmů, zejména pro laboratorní výzkum pevných elektrolytů a OLED.

Hlavní funkce:

• Příprava různých filmů, široká škála aplikací
• Malá velikost, snadná obsluha
• Modulární design vakuové komory, vakuové čerpadlo, ovládací zdroj energie je rozdělený design, který může být upraven podle skutečných potřeb uživatele.
• V závislosti na skutečných potřebách uživatele si můžete vybrat zdroj napájení, jeden zdroj napájení může řídit více cílových zbraní, nebo více zdrojů napájení může řídit jednu cílovou zbraň

Magnetronní stříkací hlava：

• V přístroji jsou nainstalovány tři magnetronové stříkací hlavy s vodou chlazenou vrstvou
• Jedna z postřikovacích hlav je připojena k radiofrekvenčnímu napájení, především postřikovací izolační cíl
• Další stříkací hlava je připojena k DC napájení, hlavní stříkací vodivý cíl
• Požadavky na velikost cíle: průměr 50 mm, tloušťka 0,1-5 mm (díky různým tloušťkám cílového materiálu se liší)
• RF kabel lze objednat samostatně jako náhradu
• Zařízení obsahuje vodní chladič pro chlazení cílové hlavy

Vzorková stanice：

• Rozměr: φ 140mm (zuiVelký může být umístěn na 4' základ)
• Obrazovací stůl se může otáčet rychlostí od 1 do 20 otáček za minutu (nastavitelné)
• Vzorková stanicezuiVysoká teplota 500°C

Vakuové komory：

• Vakuová komora: φ300 mm x 300 mm H, z nerezové oceli
• Pozorovací okno: Φ100 mm
• Otevření komory se otevírá nahoře, což usnadňuje změnu cíle

Řidič toku plynu：

• Vnitř přístroje jsou instalovány 2 průtokoměry hmotnosti v rozsahu 0-100sccm
• Nastavení průtoku plynu lze ovládat na 6palcové dotykové obrazovce
• Tento systém vyžaduje Ar plyn pro provoz a na válci je nainstalován tlumicí ventil (není součástí zařízení)

Vakuové systémy：

• S molekulárním čerpadlem GZK-103D (německá výroba)
• Standardní limit 5E-5mbar 7.4E-6mbar

Tloušťka filmu：

• Přesný kvarcový vibrační tloušťkový měřič instalovaný na přístroji pro sledování tloušťky filmu v reálném čase s rozlišením 0,10 Å
• LED displej zobrazuje a také zadává údaje o vyrobeném filmu

Rozměry výrobku：

• L1300mm×W660mm H1200mm
• Čistá hmotnost: 160 kg

KrystalTřícílový magnetron rozprašovač

Modelové číslo:VTC-600-3HD

Certifikace kvality:Certifikace CE

Použití tipů：

• Toto zařízení je DIY zařízení, parametry se značně mění před nákupem, ujistěte se, že telefon pečlivě komunikovat
• Pro lepší kvalitu filmu je třeba dostat do vysoce čistého plynu (doporučeno > 5N)
• Ujistěte se, že před postřikováním povlaku jsou postřiková hlava, cíl, podložka a vzorkový stůl čisté
• Chcete-li dosáhnout dobrého spojení filmu s podkladem, očistěte povrch podkladu před postřikováním
• Ultrazvukové čištění (podrobné parametry klikněte na obrázek níže): (1) acetonový ultrazvuk (2) isopropanolový ultrazvuk - odstranění tuku (3) fukování dusíkem sušení (4) vakuová trouba odstranění vlhkosti.
• Čištění plazmou: může být povrch drsný, může aktivovat povrchové chemické vazby a odstranit další znečišťující látky.
• Vyrobení tenké vrstvy vyrovnávacího prostředku (asi 5 nm): například Gr, Ti, Mo, Ta, může být použita ke zlepšení přilnavosti kovů a slitin.

Varování：

• Poznámka: Vnitř výrobku jsou instalovány vysokonapěťové komponenty, je zakázáno soukromé demontáže, elektrické pohyblivé tělo
• Na válci by měl být nainstalován ventil pro snížení tlaku (standardní vybavení není zahrnuto), aby se zajistilo, že výstupní tlak plynu je omezen na 0,02 MPa.Následující pro bezpečné použití
• Stříkací hlava je připojena k vysokému napětí. Pro bezpečnost musí operátor před vypnutím zařízení vzorkovat a vyměnit cíl.