Účel údržby ICP zařízení:
1) včasné zjištění poruch přístroje;
2) řešení skrytých nebezpečí přístroje, včasné odhalení a navrhnutí preventivních opatření;
3) prostřednictvím údržby přístroje, zvýšení citlivosti přístroje a prodloužení životnosti přístroje;
4) zvýšení stability přístroje a zajištění přesnosti zkušebních dat;
Obsah údržby ICP zařízení:
1) Vyčistit všechny desky, ventilátory a prach na povrchu přístroje
2) Čištění rozprašovače, rozprašovací komory, světelného kuželu a hořáku
3) Vyměňte chladicí oběhovou vodu a čistěte potrubí
4) Vakuové trubky spoje, elektromagnetický ventil spínač těsnění kontrola nastavení polohy paprsku štěrbiny
5) Kontrola výkonu vakuového čerpadla, výměna čerpadlového oleje, těsnění, molekulární síto
6) Zkontrolujte, zda mezi válcem a ICP není žádný únik plynu
7) Kontrola plynu přístroje, senzor pomocného plynu, čištění
8) Údržba vysoce frekvenčního generátoru RF, údržba vakuové komory
9) Řešení problémů s provozem uživatelů