Heliový chromatometr pro analýzu tetrachlorsilánu
Přístroje jsou vybaveny vysoce citlivým detektorem ionizace helia, pomocí technologie centrálního řezání společnosti HUARE, vzorkové ventily jsou vyba
Detaily produktu
- Popis produktu
Heliontový chromatometr pro analýzu tetrachlorsilánuPoužitelné pro detekci stopových nečistot v plynech používaných v elektronickém průmyslu, malá detekční koncentrace může dosáhnout 5ppb. Přístroje jsou vybaveny vysoce citlivým detektorem ionizace helia, pomocí technologie centrálního řezání společnosti HUARE, vzorkové ventily jsou vybaveny ochrannými vzduchovými cestami; Celý stroj je navržen s více sloupy a je vybaven automatickým korekčním systémem vstupního tlaku, který zajišťuje vstupní objem vzorků různých podkladových plynů. Výrobky byly oceněny projektem třídy A pro přeměnu vysoce technologických úspěchů v Šanghaji.
| Křemík (SiHCl)3Obsah (objemové části) / l0-6 ≤ | 400 | 25 | |
| Chlorsilán (SiH)2Cl2Obsah (objemové části) / l0-6 ≤ | 400 | 25 | |
| Metyldichlorsilán (SiCl)2CH4Obsah (objemové části) / l0-6 ≤ | 200 | 50 | |
| Obsah kovů a dalších prvků | Obsah (bor + hliník) (B + Al) / (µg / kg) ≤ | —— | 0.1 |
| Obsah (fosforu + arsenu) (P + As) / (µg / kg) ≤ | —— | 0.3 | |
| Obsah gallia (Ga)/(µg/kg) ≤ | —— | 0.5 | |
| Obsah antimonu (Sb)/(µg/kg) ≤ | —— | 0.5 | |
| Obsah indium (In) / (µg/kg) ≤ | —— | 0.5 | |
| Obsah vápníku (Ca)/(µg/kg) ≤ | 1 | 0.5 | |
| Obsah chromu (Cr)/(µg/kg) ≤ | 1 | 0.5 | |
| Obsah železa (Fe)/(µg/kg) ≤ | 1 | 0.5 | |
| Obsah draslíku (K)/(µg/kg) ≤ | 1 | 0.5 | |
| Obsah sodíku (Na)/(µg/kg) ≤ | 1 | 0.5 | |
| Obsah niklu (Ni)/(µg/kg) ≤ | 1 | 0.5 | |
| Obsah molybdenu (Mo) / (µg / kg) ≤ | 1 | 0.5 | |
| Obsah manganu (Mn) / (µg/kg) ≤ | 1 | 0.5 | |
| Obsah mědi (Cu)/(µg/kg) ≤ | 1 | 0.5 | |
| Obsah cadmia (Cd)/(µg/kg) ≤ | 1 | 0.5 | |
| Obsah kobaltu (Co)/(µg/kg) ≤ | 1 | 0.5 | |
| Obsah zinku (Zn)/(µg/kg) ≤ | 1 | 0.5 | |
| Obsah vanádu (V)/(µg/kg) ≤ | 1 | 0.5 | |

Online dotaz
