Vlastnosti produktu:
1, kryt stroje použití studeně valcované desky pečení, vnitřní žláza z nerezové oceli 316L materiálu; Ohřívač je rovnoměrně rozložen kolem vnější a vnější stěny vnitřní žlučky bez žádných elektrických příslušenství a hořlavých výbušných zařízení. Tvrzené, střelněodolné dvoustranné skleněné dveře pozorují objekty v ateliéru na první pohled.
2, uzavření dveří v krabici uvolněné pevné nastavení, celkové tvarování silikonového gumového těsnění dveří, aby bylo zajištěno vysoké vakuum v krabici.
3, mikropočítačový inteligentní teploměr, s nastavením, měření teploty dvojiciferný displej a PID sebenastavení funkce, přesná a spolehlivá regulace teploty.
Inteligentní ovládací systém dotykové obrazovky podporuje japonský modul Mitsubishi PLC, který umožňuje uživatelům měnit program, teplotu, vakuum a čas každého programu podle různých procesních podmínek.
5, HMDS plyn uzavřený typ automatické odsávání přidat design, vysávací krabice těsnění výkon je dobrý, aby se zajistilo, že HMDS plyn nemá žádné vnější problémy s únikem.
Celý systém je vyroben z materiálu, bez prachového materiálu, použitelné pro čištění prostředí mezi 100 světelnými momenty.

Volitelné příslušenství:
Vakuové čerpadlo: německá značka, rotační olejové čerpadlo Leipzig "DC" s dvoupolovou řadou, vysokým maximálním vakuem, nízkým hlukem a stabilním provozem.
Spojovací trubka: Vlnitá trubka z nerezové oceli, plně uzavřená, která spojuje vakuové čerpadlo s troubou.

Potřeba systému předběžného zpracování HMDS:
V procesu výroby polovodičů je litografie důležitým procesním prvkem pro přenos grafiky integrovaných obvodů, kvalita lepidla přímo ovlivňuje kvalitu litografie a proces lepidla je také obzvlášť důležitý. Drtivá většina lepidla je hydrofobní a hydroxyl a zbytkové molekuly vody na povrchu křemíku jsou hydrofilní, což způsobuje špatnou lepitost lepidla a křemíku, zejména pozitivního lepidla, při zobrazení se tekutina pronikne do spojení lepidla a křemíku, snadno způsobí drift, floating lepidlo atd., což vede k selhání přenosu grafiky, zatímco mokrá koroze je náchylná k boční korozi. Příslušenství HMDS (hexamethyldisilanatan) může tento stav velmi dobře zlepšit. Po nátěru HMDS na povrch křemíkových plátků je zahříváno v peci, aby se vytvořila sloučenina tvořená siloxanem. Úspěšně přeměnil povrch křemíku z hydrofilního na hydrofobní, jeho hydrofobní základna se může dobře spojit s fotogravním lepidlem a hrát roli spojovacího činidla.

Princip vakuové trouby HMDS:
Systém předběžného zpracování HMDS prostřednictvím pracovní teploty, doby zpracování, doby udržování při zpracování a dalších parametrů v procesu předběžného zpracování pece HMDS může rovnoměrně pokrýt vrstvu HMDS na křemíkové fólie a povrch podložky, snižuje uhl kontaktu křemíkové fólie po zpracování HMDS, snižuje množství fotogravírového lepidla a zlepšuje přilnavost fotogravírového lepidla a křemíkové fólie.

Obecné pracovní postupy vakuových pecí HMDS:
Nejprve určte pracovní teplotu pece. Typickým postupem předběžného zpracování je: otevřít vakuové čerpadlo pro čerpání vakua, čekat na dosažení určité vysoké vakuové stupně vakua v komoře, začít naplňovat dusík, naplnit, až dosáhne určité nízké vakuové stupně, znovu provádět proces čerpání vakua, naplňování dusíku, po dosažení nastaveného počtu naplňování dusíku, začít udržovat nějakou dobu, aby křemíková plocha byla plně zahřáta a snížit vlhkost povrchu křemíkové plochy. Poté znovu začněte čerpat vakuum, naplňte plyn HMDS a po dosažení nastaveného času přestaňte naplňovat tekutinu HMDS a vstoupte do fáze udržování, aby kremík plně reagoval s HMDS. Po dosažení nastavené doby udržení začněte opět čerpat vakuum. Naplňte dusík a dokončte celý provozní proces. Mechanismus reakce HMDS s křemíkem je uveden na obrázku: nejprve zahřát na 100 ° C - 200 ° C, odstranit vlhkost povrchu křemíku, pak HMDS reaguje s povrchem OH, vytvářet křemíkový eter na křemíkovém povrchu, odstranit vodíkovou vazbu, čímž se polární povrch promění v nepolární povrch. Celá reakce pokračuje až do doby, kdy prostorová bitová rezistence (větší trimethylsilikanyl) zabrání další reakci.

Vyfukové plyny atd.: Nadbytečná pára HMDS (výfukové plyny) bude čerpána vakuovým čerpadlem a vypuštěna do speciálního potrubí pro sběr výfukových plynů. Je třeba provést speciální ošetření, pokud neexistuje speciální potrubí pro sběr výfukových plynů.

Pouzdro válcované desky lakování za studena