Filtr pro čištění vzduchu je základní součástí pro filtrování plynu. Tato součást může být připojena na přední straně vstupu vzduchu rotačního vakuového čerpadla, aby plyn, který vstupuje do vakuového čerpadla, byl filtrován, odstraněn převážná většina plynů, které obsahují nečistoty, jako jsou prach a vodní pára, aby se zabránilo, že vakuové čerpadlo brání normální práci a prodlouží životnost vakuového čerpadla kvůli vdechování nečistých plynů.

Přístup vzduchu spojuje vakuovou nádobu, plyn vstupuje do sudu a filtruje se filtrem uvnitř sudu; Čistý plyn vede do tří cest, vzduchový výstup spojuje vakuové čerpadlo a tvoří sací zařízení. Třícestný vakuoměr může měřit jeho vakuum. Otáčení šroubu vylučuje nečistoty.