Řídící algoritmy umožňují stabilní regulaci rozdílného proudu řízením poměru průtoku a současně řídí tlak vzestupu FS-3000 pomocí technologie HORIBA STEC Control Optimization. Navíc i při změně poměru rozdělení může řídicí algoritmus dosáhnout vysokorychlostní reakce na rozdělení.

• Zlepšení škálovatelnosti a výkonu údržby. FS-3000 může oddělit až 15 kanálů pomocí vysokorychlostního zpracování signálu. Pokud dojde k poruše MFC, stačí ji vyměnit.

• FS-3000 podporuje širokou škálu plynů, včetně směsí plynů. Kromě toho FS-3000 podporuje uživatelská rozhraní RS-485 a DeviceNet.