Atonarp Procesní kontrolní hmotnostní spektrometr Aston ™ Technické specifikace:

Univerzální nástroje pro řízení procesů v reálném čase, odolné proti korozivním plynům, odolné proti kondenzaci
Platforma pro molekulární analýzu in situ pro výrobu polovodičů, která poskytuje operační data v reálném čase
Plazmatický ionizační zdroj, bez drátů, odolnější
Plně integrovatelné s nástroji pro masovou výrobu
Aston ™ Procesní analyzátor hmotnostního spektrumJako silná platforma může nahradit řadu tradičních nástrojů, které nabízejí bezprecedentní úroveň kontroly, včetně litografie, litování a usazování dielektrických a vodivých materiálů, čištění komory, přizpůsobení komory a rozpuštění.

Aston ™ Procesní analyzátor hmotnostního spektrumTechnické parametry

Atonarp Aston™ Aplikace: Významný vývoj v oblasti kontroly a optimalizace procesů polovodičů pro zvýšení výnosu, průchodnosti a efektivity výrobních procesů polovodičů
Aston ™ Je to nově navržený a odolný kompaktní on-line hmotnostní spektrometr vhodný pro monitorování a řízení plynů ve výrobě polovodičů a aplikacích pro řízení průmyslových procesů, který kombinuje vysokou kvantitativní přesnost a reálný čas s robustností a spolehlivostí výroby, jako je například analýza detekce výfukových plynů z polovodičových suchých čerpadel, umožňuje on-line monitorování a diagnostiku.
CVD / ALD: Oxid-nitrid přechod a analýza složení
Etch/ALE End Point :<0.3%
Chamber Matching: Identifikace sledovacích molekul


Pokud potřebujete vědět víceAtonarp Aston ™ Online hmotnostní spektrometrDalší informace nebo diskuse naleznete na následujících kontaktních údajích:
Šanghaj Betong: slečna Ye Tchaj-wan Betong: slečna Wang
T: +86-21-5046-3511 ext 109 T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490 F: +886-3-567-0049
M: +86 1391-883-7267 ( WeChat stejné číslo ) M: +886-939-653-958

V současné době některé značky přijímají spolupracovníky, kteří mají zájem, vítají kontaktovat slečnu Betong Ye v Šanghaji 1391-883-7267
Shanghai Betong Všechna práva vyhrazena!