Suzhou průmyslový park Huiguang Technology Co., Ltd.
Domů>Produkty>Kontrolní systémy AWL
Kontrolní systémy AWL
Systémy kontroly oble?ek ?ady AWL nabízejí stabilitu a bezpe?nost a umo?ňují bezpe?ny a spolehlivy p?enos oble?ek, které jsou vhodné pro kontrolu oble
Detaily produktu

AWL 系列晶圆检查系统

AWL 系列晶圆检查系统的显微镜


V současné době má AWL řada obleček manipulátory AWL046, AWL068 dva modely, které mohou být použity pro detekci obleček 4/6 palců, detekci obleček 6/8 palců, široký rozsah přizpůsobení a flexibilní, volně nastavitelný kontrolní režim, plně v souladu s ergonomickým designem, pohodlnou a snadnou obsluhu.

série AWLVýhody systému kontroly vláken

360° makrospekce

360°宏观检查

Systémy kontroly oblouček řady AWL mají makrospektivní rameno, které umožňuje otáčení o 360 ° pro makrospekci krystalu a makrospekci krystalu 1, což usnadňuje detekci jizev a drobného prachu. Pomocí ovládací tyče lze sledovat náklon obleček. Úhel naklonu krystalu ≤ 70 °, úhel naklonu krystalu 1 ≤ 90 °, úhel naklonu krystalu 2 ≤ 160 °, pomocí rotační funkce, úhel naklonu, zcela lze vizuálně zkontrolovat celou pozitivní stranu a okraj obálky.

• Inženýrský design

晶圆检查系统的LCD显示屏

LCD displej systému kontroly vláken může operátorovi poskytnout intuitivnější vizuální zážitek, může jasně zobrazit aktuální kontrolní položky a pořadí, parametry ladit na jeden pohled.

Ruční rychlé uvolňování vakuových nosičů s kontrolními systémy vláken zvyšuje pohodlí a produktivitu obsluhy.

Případy použití pro kontrolu chyb obléky

晶圆缺陷检查

晶圆缺陷检查

Série AWLTechnické specifikace systému kontroly vláken

Modelové číslo

AWL046

AWL068

Velikost disku (specifikace SEMI)

150mm/125mm/100mm

200mm/150mm

Minimální tloušťka disku

150μm

180μm

Typ

Otevřená krabice (SEMI Stad.25(26)-slot)

Počet krabic

1 Port

Zkontrolujte nastavení režimu

Kompletní kontrola / Čírná kontrola / Čírná kontrola / Ruční výběr

Skenování vláken v krabici

Přednastavení oblouků

Umístění vláken

Bezkontaktní polohovací plochá/V slotová plocha s podporou směrového nastavení 0°, 90°, 180°, 270°

Kontrola funkcí

Mikrokontrola

Makrospekce krystalů

Makroskopická kontrola krystalu 1

Makroskopická kontrola krystalu 2

Přizpůsobení mikroskopu

SOPTOPZlatý mikroskopMX68R

Nákladní stanice

6 palcová čtyřvrstvá mechanická pohyblivá plošina, nízká ruka X, Y směr koaxialní nastavení; Ložnicové ložisko, se může otáčet o 360 °; Rozsah pohybu 228 mm (směr X) x 170 mm (směr Y)
170mmX170mm ; s rukojetí spojky pro rychlý pohyb v celém rozsahu jízdy;

8 palcová čtyřvrstvá mechanická pohyblivá plošina, nízká ruka X, Y směr koaxialní nastavení; Ložnicové ložisko, otočitelné o 360 °, pohyblivý dosah 280 mm (směr X) x 210 mm (směr Y)
210mm×210mm ; S rukojetí spojky, která může být použita pro rychlý pohyb v celém rozsahu jízdy;

Napájení

1P/220V/16A

Vakuový zdroj

—70KPA

Online dotaz
  • Kontakty
  • Společnost
  • Telefon
  • E-mail
  • WeChat
  • Ověřovací kód
  • Obsah zprávy

Úspěšná operace!

Úspěšná operace!

Úspěšná operace!