Hlavní vlastnosti systému kontroly 12 palců Olympus:
Robustní, spolehlivý a bezpečný transport
12palcový systém kontroly obleček Olympus pokračuje v pevnosti, spolehlivosti a bezpečnosti předchozí generace a umožňuje bezpečný a spolehlivý přenos 300 mm obleček a tenkých obleček Warped.
• ergonomický design, snadné ovládání
Kontrolní režim, který lze volně nastavit v 12palcovém kontrolním systému Olympus, je navržen s ohledem na provozní schopnost zadního strojírenství a klade zvláštní důraz na jednoduchost provozu zařízení. Dva modely jsou FOUP (Load Port) a FOSB.
Optimalizace makro-sledovací polohy 12palcového kontrolního systému Olympus a centralizované uspořádání operačních jednotek zlepšují provozní schopnost zařízení.
Technické specifikace automatického 300 mm kontrolního systému AL120-12
Modelové číslo |
AL120-LMB12-LP |
AL120-LMB12-F |
Velikost vlákny |
300 mm (SEMI M1,15 t = 775 μm) Volitelné: 200 mm |
|
Počet karton |
Jednotlivá krabice (kompatibilní pro nakládku a demontáž) |
|
Nastavení výšky kazety |
900 mm |
|
Nabíjecí port |
Ano. |
Žádný |
Pořadí manipulace |
Povrchové makro, vnitřní makro, kontrola mikroskopem |
|
Kontrolní režim |
Všechny kontroly, vzorkování |
|
Kalibrace vláken |
Bezkontaktní centrální kroužky |
|
Způsob manipulace s oblékami |
Mechanické manipulace s vakuovou adsorpcí |
|
Použití mikroskopu |
Polvodičový kontrolní mikroskop MX61L |
|
Aplikační prostředí |
AC100~120 V,220~240 V,3.0/1.7 A,50/60 Hz , Vakuum - 67 - 80 Kpa |
|
Nákladní stanice |
XY ruční adsorpční nosný stůl s XY hrubým / jemným nastavením a 360stupňovým otáčením |
|
Hmotnost (kromě mikroskopu) |
přibližně 360 kg |
přibližně 270 kg |
